网上办理流程：
1.申请。申请人登录广东政务服务网填写电子信息，提出欠薪垫付预申请。经区人力资源部门预审符合条件的，申请人在约定的时间到区人力资源局窗口提交纸质材料，正式提出欠薪垫付申请。
2.受理。区人力资源部门应在3个工作日内作出是否受理的决定。对符合受理条件，申请材料齐全正确的，予以受理，出具《受理回执》；对不符合受理条件，申请材料不齐全不正确的，不予受理，出具《不予受理通知书》。
3.审核。1)特殊程序。区人力资源部门在10日内（特殊程序所需时间不纳入承诺办理时限）根据《深圳经济特区欠薪保障条例实施细则》第二十五、二十六条规定启动特殊程序，调查核实欠薪单位法定代表人或主要负责人是否逃匿或隐匿。2）普通审核程序。区人力资源部门在3个工作日内前往用人单位调取出勤记录、工资标准、工资发放情况以及财务报表等必要资料，对欠薪的时间、数额、有关资料的真实性进行审查。
4.审批。区人力资源部门在2个工作日内作出是否垫付欠薪的决定。
5.办结（当天）。符合垫付条件并查证属实的，区人力资源部门应当作出《予以垫付欠薪决定书》，通知申请人及用人单位；经审查不符合垫付条件的，作出《不予垫付欠薪决定书》，通知申请人并说明理由。
6.送达。申请人按约定的方式领取《予以垫付欠薪决定书》或《不予垫付欠薪决定书》。

窗口办理流程：
1.申请。申请人向区人力资源部门窗口提出申请，提交申请材料，提出欠薪垫付申请。
2.受理。区人力资源部门应在3个工作日内作出是否受理的决定。对符合受理条件，申请材料齐全正确的，予以受理，出具《受理回执》；对不符合受理条件，申请材料不齐全不正确的，不予受理，出具《不予受理通知书》。
3.审核。1)特殊程序。区人力资源部门在10日内（特殊程序所需时间不纳入承诺办理时限）根据《深圳经济特区欠薪保障条例实施细则》第二十五、二十六条规定启动特殊程序，调查核实欠薪单位法定代表人或主要负责人是否逃匿或隐匿。2）普通审核程序。区人力资源部门在3个工作内前往用人单位调取出勤记录、工资标准、工资发放情况以及财务报表等必要资料，对欠薪的时间、数额、有关资料的真实性进行审查。
4.审批。区人力资源部门在2个工作日内作出是否垫付欠薪的决定。符合垫付条件并查证属实的，区人力资源部门应当作出予以垫付欠薪决定书，通知申请人及用人单位；经审查不符合垫付条件的，作出不予垫付决定书，通知申请人并说明理由。
5.办结。员工收到予以欠薪垫付决定后，应当在收到垫付欠薪决定之日起十五日内凭身份证或者其他有效身份证明到指定地点领取垫付的欠薪。逾期未领取的，垫付决定自动撤销。