网上办理流程：
1.申请：申请人通过广东政务服务网查询申请事项后点“在线申请”，填写申报信息提交审核。预审通过后选择邮寄或前往市行政服务大厅西厅综合窗口提交申请材料。
2.受理：窗口收文人员核验申请材料，当场做出收文决定。申请人符合申请资格，并材料齐全、格式规范、符合申报条件的，出具《收文回执》；申请人不符合申请资格或材料不齐全、不符合申报条件的，收文人员不予收文。
3.审核：审查人员对材料进行审查。符合申请条件、材料齐全的，在25个工作日内提出初审意见，转特殊程序审查，一般需要经过专家评审（45个工作日）、专项审计（45个工作日等程序审查，审查通过后报局领导办公会或联席会审议。申请材料不齐的，应在5个工作日内一次性告知申请人补齐申报材料，出具《补交告知通知书》。逾期告知的，自收文时起计算办理时限。申请人按要求补正后重新受理审查，自补交材料之日起重新计算办理时限。
4.审批：经局领导办公会或联席会审议通过后（45个工作日），经深圳市工业和信息化局网站公示（10个工作日），公示无异议的项目，予以下达资助文件。
5.办结：公示无异议后20个工作日内出具深圳市工业和信息化局关于下达首台（套）重大技术装备扶持计划**年第*批扶持计划的通知；
6.送达：在深圳市工业和信息化局网站公布或电话通知申请人办理资金拨付相关工作或不予以通过。

窗口办理流程：
1.申请：
（1）在线申请。申请人通过广东政务服务网查询申请事项后点“在线申请”，填写申报信息提交审核。
（2）窗口申请。申请人收到短信后5个工作日内向市民中心行政服务大厅西厅窗口提出申请，提交申请材料。
2.受理：
窗口收文人员核验申请材料，当场做出收文决定。申请人符合申请资格，并材料齐全、格式规范、符合申报条件的，出具《收文回执》；申请人不符合申请资格或材料不齐全、不符合申报条件的，收文人员不予收文。
3.审核：
审查人员对材料进行审查。符合申请条件、材料齐全的，在25个工作日内提出初审意见，转特殊程序审查，一般需要经过专家评审（45个工作日）、专项审计（45个工作日）等程序审查，审查通过后报局领导办公会或联席会审议。申请材料不齐的，应在5个工作日内一次性告知申请人补齐申报材料，出具《补交告知通知书》。逾期告知的，自收文时起计算办理时限。申请人按要求补正后重新受理审查，自补交材料之日起重新计算办理时限。
4、审批：经局领导办公会或联席会审议通过后（45个工作日），经深圳市工业和信息化局网站公示（10个工作日），公示无异议的项目，予以下达资助文件。
5、办结：公示无异议后20个工作日内出具深圳市工业和信息化局关于下达首台（套）重大技术装备扶持计划**年第*批扶持计划的通知；
6、送达：在深圳市工业和信息化局网站公布或电话通知申请人办理资金拨付相关工作或不予以通过。